Soft dielectric cantilevers with silicon tips for atomic force microscopy applications-Reference-Cited by-同舟云学术

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Soft dielectric cantilevers with silicon tips for atomic force microscopy applications

Published:2016-11-10 Issue: Volume: Page:
ISSN:0277-786X
Container-title:SPIE Proceedings
language:
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Author:

Janus Paweł¹,Dobrowolski Rafał¹,Sierakowski Andrzej¹,Ivaldi Francesco¹,Szmigiel Dariusz¹,Zając Jerzy¹

Affiliation:

1. Instytut Technologii Elektronowej (Poland)

Publisher

SPIE

Reference8 articles.

1. Atomic Force Microscope

2. http://www.nanosensors.com/uniqprobe-uniform-quality-spm-probe-soft-contact-mode-qp-scont

3. Sensors and Actuators A: Physical;Zubel,2001

4. Novel SThM nanoprobe for thermal properties investigation of micro- and nanoelectronic devices Microelectronic Engineering;Janus,2010

5. http://www.pdesolutions.com/

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