Patterning challenges for beyond 3nm logic devices: example of an interconnected magnetic tunnel junction

Author:

Thiam Ndeye Arame,Wan Danny,Souriau Laurent,Babaei Gavan Khashayar,Rassoul Nouredine,Swerts Johan,Couet Sebastien,Raymenants Eline,Jussot Julien,Trivkovic Darko,Ercken monique,Wilson Christopher J.,Radu Iuliana P.

Publisher

SPIE

同舟云学术

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