Selective surface smoothening of 3D micro-optical elements

Author:

Schift Helmut1,Chidambaram Nachiappan1,Altana Mirco2,Kirchner Robert1

Affiliation:

1. Paul Scherrer Institut (Switzerland)

2. Heptagon Oy (Switzerland)

Publisher

SPIE

Reference22 articles.

1. Nanoimprint lithography process chains for the fabrication of micro- and nanodevices

2. Fabrication of continuous-relief micro-optical elements by direct laser writing in photoresist, laser-assisted fabrication of thin films and microstructures;Gale,1994

3. Replicated high precision micro-optical insert elements for optical bench arrangements;Schift,1998

4. Review on micro molding of thermoplastic polymers

5. Replicated micro-optics for automotive applications;Stäger,2005

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