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Measurement of surface topographies in the nm-range for power chip technologies by a modified low-coherence interferometer

  • Published:2016-03-16 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:0277-786X
  • Container-title:Photonic Instrumentation Engineering III
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Taudt Ch.,Baselt T.,Nelsen B.,Aßmann H.,Greiner A.,Koch E.,Hartmann P.

Publisher

SPIE

Reference21 articles.

1. The transition of power semiconductor to 300mm.;Wagner,2012

2. 300mm power strategies.;Ploss,2011

3. Power semiconductors on 300-millimeter wafers;Deboy,2013

4. Optical Measurement of Surface Topography

5. Frontiers in defect detection;Pfitzner,2013
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