Manufacturability study of masks created by inverse lithography technology (ILT)
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Publisher
SPIE
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1. Advances in Inverse Lithography;ACS Photonics;2022-09-23
2. 先进计算光刻;Laser & Optoelectronics Progress;2022
3. Inverse lithography technology: 30 years from concept to practical, full-chip reality;Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology;2021-08-31
4. Nonlinear compressive inverse lithography aided by low-rank regularization;Optics Express;2019-10-02
5. Model-driven convolution neural network for inverse lithography;Optics Express;2018-11-28
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