Fabrication and improvement of nanopillar InGaN / GaN light-emitting diodes using nanosphere lithography

Author:

Fadil Ahmed1,Ou Yiyu1,Zhan Teng2,Wu Kaiyu3,Suyatin Dmitry4,Lu Weifang1,Petersen Paul Michael1,Liu Zhiqiang2,Ou Haiyan1

Affiliation:

1. Technical University of Denmark, DTU Fotonik, Ørsteds Plads 343, 2800 Kongens Lyngby, Denmark

2. Chinese Academy of Sciences, Institute of Semiconductors, A35 Qinghua East Road, Haidian, Beijing 100083, China

3. Technical University of Denmark, DTU Nanotech, Ørsteds Plads 345, 2800 Kongens Lyngby, Denmark

4. Lund University, Division of Solid State Physics and The Nanometer Structure Consortium, Box 118, SE-22100 Lund, Sweden

Publisher

SPIE-Intl Soc Optical Eng

Subject

Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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