A 4+1 phase shifting algorithm for rotating-compensator spectroscopic ellipsometry

Author:

Han Zhi-gang,Xu Zhi,Chen Lei

Publisher

SPIE

Reference7 articles.

1. Tompins, H., and Irene, E., [Handbook of ellipsometry]. William Andrew, 481–566, New York (2005).

2. Rotating-compensator multichannel ellipsometry: Applications for real time Stokes vector spectroscopy of thin film growth

3. White-light ellipsometer with geometric phase shifter

4. A phase-stepped white light ellipsometer;Watkins,2013

5. Malacara, D., [Optical Shop Testing], John Wiley &Sons, inc., 547–666, New Jersey, (2007).

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