1. Zuse Institute Berlin 1 , Takustraße 7, 14195 Berlin, Germany
2. JCMwave GmbH 2 , Bolivarallee 22, 14050 Berlin, Germany
3. Experimental Physics 5, Institute of Physics, University of Würzburg 3 , Würzburg, Germany
4. Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik 4 , 12489 Berlin, Germany