Beam diagnostics extracted from radio frequency driven ion source
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Publisher
AIP Publishing
Subject
Instrumentation
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http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.1150408
Reference3 articles.
1. A versatile broad‐beam ion source
2. Beam diagnostic techniques for a small‐size high‐efficiency radio‐frequency ion source
3. Beam Formation and Space Charge Neutralisation
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1. Study of the properties of the asymmetric microwave low pressure gas discharge;Journal of Physics D: Applied Physics;2019-09-17
2. The effect of a combined low-pressure gas discharge on metal surfaces;Journal of Physics D: Applied Physics;2018-03-19
3. Characteristics of a 13.56 MHz radiofrequency-driven multicusp ion source;Plasma Sources Science and Technology;2002-09-23
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