1. Institute of Microengineering (IMT), Sensors, Actuators and Microsystems Laboratory (SAMLAB), Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 2000 Neuchâtel, Switzerland
2. Laboratoire Temps-Fréquence (LTF), Institut de Physique, Université de Neuchâtel, 2000 Neuchâtel, Switzerland