1. Micro system Integration Center, Tohoku University 1 , Sendai 980-8579, Japan
2. Lyon Center, IFS–Tohoku U., Université de Lyon 2 , Villeurbanne 69621, France
3. ELyTMaX IRL 3757, Centre National de la Recherche Scientifique–Université de Lyon–Tohoku U, International Joint Unit 3 , Sendai 980-8577, Japan
4. LGEF, INSA Lyon, Université de Lyon 4 , Villeurbanne, Rhône Alpes 69621, France
5. MATEIS, INSA Lyon, CNRS, Université de Lyon 5 , Villeurbanne 69621, France