1. Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie 1 , 12489 Berlin, Germany
2. Helmholtz-Zentrum Berlin 2 , 12489 Berlin, Germany
3. Technische Universität Berlin, Institut für Optik und Atomare Physik 3 , 10623 Berlin, Germany
4. Berlin Laboratory for Innovative X-ray Technologies (BLiX) 4 , 10623 Berlin, Germany
5. IAP eV 5 , 12489 Berlin, Germany
6. NOB Nano Optics Berlin GmbH 6 , 10627 Berlin, Germany