Disk‐shaped vacuum ultraviolet light source driven by microwave discharge for photoexcited processes
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
Physics and Astronomy (miscellaneous)
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.106241
Reference8 articles.
1. Photo-Ionizalion Assisted Photo-CVD of Silicon Nitride Film by Microwave-Excited Deuterium Lamp
2. Deposition of high‐quality a‐Si:H by direct photodecomposition of Si2H6 using vacuum ultraviolet light
3. Wide area disk‐shaped vacuum ultraviolet lamp
4. Imprisonment of Resonance Radiation in Gases. II
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1. Photo-excited removal of native oxide on a silicon wafer in NF3 gas using a VUV Xe lamp;Applied Surface Science;1994-05
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3. Génération d'UV-X mous par décharge électrique;Annales de Physique;1992-06
4. Nouvelles sources photoniques VUV à pompage collisionnel;Annales de Physique;1992-06
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