Nanometer patterning of InP using aerosol and plasma etching techniques

Author:

Wiedensohler Alfred,Hansson Hans‐Christen,Maximov Ivan,Samuelson Lars

Publisher

AIP Publishing

Subject

Physics and Astronomy (miscellaneous)

Reference7 articles.

1. For a recent review of nanometer technology and applications, see the special section of Science,254, (1991).1095-9203

2. Making quantum wires and boxes for optoelectronic devices

3. Proc. SPIE1676(in press).

4. For a recent survey of ultrafine aerosol particle techniques, J. Aerosol Sci.22, Suppl. 1 (1991).JALSB70021-8502

5. Vapor phase synthesis of crystalline nanometer‐scale GaAs clusters

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