1. Julius-Maximilians-Universität Würzburg, Physikalisches Institut, Lehrstuhl für Technische Physik 1 , Am Hubland, 97074 Würzburg, Germany
2. nanoplus Advanced Photonics Gerbrunn GmbH 2 , Oberer Kirschberg 4, 97218 Gerbrunn, Germany
3. nextnano GmbH 3 , Konrad-Zuse-Platz 8, 81829 München, Germany