Active feedback cooling of a SiN membrane resonator by electrostatic actuation

Author:

Borrielli A.1ORCID,Bonaldi M.1ORCID,Serra E.1ORCID,Sarro P. M.2ORCID,Morana B.2

Affiliation:

1. Institute of Materials for Electronics and Magnetism, IMEM-CNR, Trento Unit c/o Fondazione Bruno Kessler, Via alla Cascata 56/C, Povo, Trento IT-38123, Italy

2. Department of Microelectronics and Computer Engineering/ECTM/DIMES, Delft University of Technology, Feldmanweg 17, 2628 CT Delft, Netherlands

Funder

QuantERA ERA-NET Cofund in Quantum Technologies

INFN

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy

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