1. Dipartimento di Fisica, Università di Roma Tor Vergata, via della Ricerca Scientifica 1, 00133 Roma, Italy
2. Department of Mathematics and Physics, and Surface Science and Spectroscopy Lab @ I-Lamp, Università Cattolica del Sacro Cuore, via dei Musei 41, 25121 Brescia, Italy
3. Department of Chemistry, Division of Molecular Imaging and Photonics, KU Leuven, Celestijnenlaan 200F, 3001 Leuven, Belgium
4. NEST, Scuola Normale Superiore, Istituto Nanoscienze-CNR, Piazza San Silvestro 12, 56127 Pisa, Italy
5. Dipartimento di Fisica e Astronomia “E. Maiorana,” Università degli Studi di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, Italy
6. Consiglio Nazionale delle Ricerche-Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada, 5, 95121 Catania, Italy
7. Tekna Plasma Systems Inc., 2935 Industrial Blvd., Sherbrooke, Quebec J1L 2T9, Canada
8. Institut National de la Recherche Scientifique, Centre-Énergie, Matériaux et Télécommunications, 1650 Blvd. Lionel Boulet, Varennes, Quebec J3X 1S2, Canada