Focused‐Beam Electron Bombardment Evaporator

Author:

Blackburn D. H.,Haller W.

Publisher

AIP Publishing

Subject

Instrumentation

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1. Evolution of integrated-circuit vacuum processes: 1959–1975;Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films;2000-07

2. Vacuum evaporation experiences with a ring-type electron beam gun;Vacuum;1972-07

3. A double wall ultra-high vacuum system with electron gun and evaporation rate monitor;Thin Solid Films;1970-09

4. MEASUREMENTS ON FISSILE NUCLIDES;Experimental Neutron Resonance Spectroscopy;1970

5. Vacuum deposition of silicon on corundum;Solid-State Electronics;1967-11

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