Role of oxygen in the UV-ps laser triggered amorphization of poly-Si for Si solar cells with local passivated contacts

Author:

Schäfer Sören1ORCID,Mercker Anja1,Köhler Adrian1,Neubert Tobias1,Mettner Larissa1,Wolpensinger Bettina1,Mertens Verena1,Peibst Robby12ORCID

Affiliation:

1. Institute for Solar Energy Research Hamelin (ISFH), Am Ohrberg 1 D-31860, Emmerthal, Germany

2. Institute of Electronic Materials and Devices, Leibniz University of Hannover, Schneiderberg 32 D-30167, Hannover, Germany

Funder

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy

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