Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing

Author:

Mimura Hidekazu1ORCID,Takei Yoshinori1,Kume Takehiro1,Takeo Yoko1,Motoyama Hiroto1ORCID,Egawa Satoru1,Matsuzawa Yusuke1,Yamaguchi Gota1,Senba Yasunori2,Kishimoto Hikaru2,Ohashi Haruhiko2

Affiliation:

1. Department of Precision Engineering, Graduate School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan

2. Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan

Funder

Japan Society for the Promotion of Science

Publisher

AIP Publishing

Subject

Instrumentation

同舟云学术

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