1. Institut d'Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, Unite Mixte de Recherche CNRS 8250, Avenue Poincare, F-59652 Villeneuve d'Ascq, France
2. CEA, LETI, MINATEC Campus, Grenoble 38054, France
3. MENAPIC, Lille 59800, France
4. Luxembourg Institute of Science and Technology, Department of Materials Research and Technology, 41 Rue du Brill, L-4422 Belvaux, Luxembourg