Publisher’s Note: “Sinusoidal transmission grating spectrometer for extreme ultraviolet measurement” [Rev. Sci. Instrum. 95, 033103 (2024)]
Author:
Affiliation:
1. L2X Labs 1 , Jerusalem, Israel
2. The Hebrew University in Jerusalem 2 , Jerusalem, Israel
3. KLA 3 , Yavne, Israel
Publisher
AIP Publishing
Link
https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-pdf/doi/10.1063/5.0211708/19876113/049902_1_5.0211708.pdf
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