1. Max-Planck-Institute for Solid State Research, Heisenbergstr. 1, 70569 Stuttgart, Germany
2. Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruhe Institute of Technology, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe, Germany
3. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany
4. Physikalisches Institut, Center for Quantum Science (CQ) and LISA+, Universität Tübingen, 72076 Tübingen, Germany