Analytic approximate solutions to electrically actuated MEMS
Author:
Publisher
AIP Publishing
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/5.0026491
Reference14 articles.
1. A reduced-order model for electrically actuated microbeam-based MEMS
2. Dynamic pull-in phenomenon in MEMS resonators
3. Dynamic pull-in instability of geometrically nonlinear actuated micro-beams based on the modified couple stress theory
4. Adomian decomposition method used for solving nonlinear pull-in behavior in electrostatic micro-actuators
5. Nonlinear behavior for nanoscale electrostatic actuators with Casimir force
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