Influence of substrate on structural, morphological and optical properties of TiO2 thin films deposited by reaction magnetron sputtering

Author:

Zhu Xinghua12,Gu Peng1ORCID,Wu Haihua1,Yang Dingyu1,Sun Hui1,Wangyang Peihua1,Li Jitao1,Tian Haibo1

Affiliation:

1. College of Optoelectronic Technology, Chengdu University of Information Technology, Chengdu 610225, P. R. China

2. College of Intelligent Manufacturing, Sichuan University of Arts and Science, Dazhou 635002, P. R. China

Funder

National Natural Science Foundation of China

Department of Science and Technology of Sichuan Province

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy

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