1. Fachbereich Physik and Landesforschungszentrum OPTIMAS, Technische Universität Kaiserslautern, Kaiserslautern, Germany
2. National Institute for Research and Development in Microtechnologies, Bucharest R-07719, Romania
3. imec, Leuven B-3001, Belgium
4. Departement Materiaalkunde, KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium