Electrostatic micromembrane actuator arrays as motion generator
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
Physics and Astronomy (miscellaneous)
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.1758299
Reference4 articles.
1. Half-symmetric cavity tunable microelectromechanical VCSEL with single spatial mode
2. Micromachined widely tunable vertical cavity laser diodes
3. A fiber connectorized MEMS variable optical attenuator
4. Silver-based reflective coatings for micromachined optical filters
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1. Feasibility study of a smart motion generator utilizing electromagnetic microactuator arrays;Smart Materials and Structures;2006-05-17
2. Optical actuation of a macroscopic mechanical oscillator;Applied Physics B;2005-07-29
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