1. FG-Nanotechnologie, Institut für Mikro-und Nanoelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Institut für Werkstofftechnik 1 , TU Ilmenau, Postfach, 100565, 98684 Ilmenau, Germany
2. FG-Werkstoffe der Elektrotechnik, Institut für Werkstofftechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® 2 , TU Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 5, 98693 Ilmenau, Germany
3. FG Technische Physik I, Institut für Physik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Technische Universität Ilmenau 3 , 98684 Ilmenau, Germany