The Nanolithography Toolbox

Author:

Coimbatore Balram Krishna,Westly Daron A.,Davanco Marcelo I.,Grutter Karen E.,Li Qing,Michels Thomas,Ray Christopher H.,Kasica Richard J.,Wallin Christopher B.,Gilbert Ian J.,Bryce Brian A.,Simelgor Gregory,Topolancik Juraj,Lobontiu Nicolae,Liu Yuxiang,Neuzil Pavel,Svatos Vojtech,Dill Kristen A.,Bertrand Neal A.,Metzler Meredith,Lopez Gerald,Czaplewski David,Ocola Leonidas,Srinivasan Kartik A.,Stavis Samuel M.,Aksyuk Vladimir A.,Liddle James Alexander A.,Krylov Slava,Ilic Robert R. ;

Publisher

National Institute of Standards and Technology (NIST)

Subject

General Engineering

Cited by 60 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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