Ion-Beam Deposition/Etching Using EMIM-N(CN)2 Ionic Liquid Ion Source
Author:
Affiliation:
1. Kyoto University, Photonics and Electronics Science and Engineering Center
Publisher
The Materials Research Society of Japan
Reference12 articles.
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1. Microfabricated emitter array for an ionic liquid electrospray thruster;Japanese Journal of Applied Physics;2017-05-30
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