Preparation of Diamond-like Carbon Films by Plasma Source Ion Implantation with External Glow Discharge
Author:
Affiliation:
1. Technische Universität Darmstadt, Department of Materials Science
2. Industrial Technology Center of Nagasaki
3. Advanced Industrial Science and Technology
Publisher
The Materials Research Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tmrsj/37/2/37_227/_pdf
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