Effect of Nano-Interface of Ru Underlayer in the Carrousel Sputtering Method
Author:
Affiliation:
1. Energy Electronics Laboratory, Sojo Univ.
2. Faculty of Computer Science, Kyushu Institute of Technology
3. Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.
Publisher
The Materials Research Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tmrsj/36/3/36_487/_pdf
Reference16 articles.
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