Development of the Curved Surface Sample Holder for TOF-SIMS Imaging

Author:

Iida Shin-ichi1,Miyayama Takuya1,Tanaka Ibuki1

Affiliation:

1. ULVAC-PHI Inc.

Publisher

Surface Analysis Society of Japan

Reference7 articles.

1. [ 2] B. W. Schueler, Microsc. Microanal. Microstruct. 3, 119 (1992).

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