Oxygen Enhanced Surface Roughening of Si(111) Induced by Low-Energy Xe<sup>+</sup> Ion Sputtering-Reference-Cited by-同舟云学术

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Oxygen Enhanced Surface Roughening of Si(111) Induced by Low-Energy Xe⁺ Ion Sputtering

Published:2009 Issue:3 Volume:15 Page:325-328
ISSN:1341-1756
Container-title:Journal of Surface Analysis
language:en
Short-container-title:JSA

Author:

Miyagawa Takuya¹,Inoue Kousuke¹,Inoue Masahiko¹

Affiliation:

1. Dept. Electric & Electronic Eng., Facult. Eng., Setsunan Univ.

Publisher

Surface Analysis Society of Japan

Link

https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsa/15/3/15_325/_pdf

Reference7 articles.

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