Introduction to Ion Beam Analysis (I) (HEIS, MEIS, LEIS) (2)

Author:

Sasakawa K.1

Affiliation:

1. Kobelco Research Institute, Inc.

Publisher

Surface Analysis Society of Japan

Reference7 articles.

1. [1] W. K. Chu, J. W. Mayer, and M. A. Nicolet, in Backscattering Spectrometry, Academic Press (1978).

2. [2] H. H. Brongersma, N. Hazewindus, J. M. van Nieuwland, A. M. M. Otten, and A. J. Smets, Rev. Sci. Instrum. 49, 707 (1978).

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5. [5] M. Mayer, SIMNRA User’s Guide, MaxPlanck Institut für Plasmaphysik (1997-2002).

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