1. A. N. Magunov, Prib. Tekh. Exp., No. 3, 6 (1998).
2. R. L. Anderson, Proc. SPIE 1392, 437 (1990).
3. K. L. Saenger, E. Tong, J. S. Logan, et al., Rev. Sci. Instr. 63, 3862 (1992).
4. A. N. Magunov and A. Yu. Gasilov, Mikroélektronika 26, 384 (1997).
5. R. A. Bond, S. Dzioba, and H. M. Naguib, J. Vac. Sci. Technol. 18(2), 35 (1981).