1. G. G. Sominskii, V. E. Sezonov, D. A. Sakseev, and T. A. Tumareva, Tech. Phys. 56, 850 (2011).
2. G. G. Sominski, V. E. Sezonov, E. P. Taradaev, T. A. Tumareva, Yu. M. Zadiranov, S. Yu. Kornishin, and A. N. Stepanova, Radiophys. Quantum Electron. 58, 511 (2015).
3. G. G. Sominskii, V. E. Sezonov, and Yu. M. Zadiranov, Nauchno-Tekh. Vedomosti S.-Peterb. Gos. Politekh. Univ. Fiz.-Mat. Nauki, No. 3, 48 (2015).
4. G. Sominskii and V. Sezonov, in Proc. 14th Baltic Conf. on Atomic Layer Deposition, St. Petersburg, 2016, p. 63.
5. I. A. Zhuravel’, E. A. Bugaev, A. Yu. Devizenko, Yu. P. Pershin, and V. V. Kondratenko, Fiz. Inzh. Poverkhn. 9, 134 (2011).