1. W. M. Moreau, Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials (Plenum, New York, 1988; Mir, Moscow, 1990), Chap. 1.
2. K. A. Valiev, T. M. Makhviladze, and M. E. Sarychev, Dokl. Akad. Nauk SSSR 283, 366 (1985) [Sov. Phys. Dokl. 30, 609 (1985)].
3. M. E. Sarychev, Tr. FTIAN 3, 74 (1992).
4. K. A. Valiev, K. Ya. Mokrousov, and A. A. Orlikovskii, Poverkhnost’, No. 1, 53 (1987).
5. A. A. Orlikovskii, Mikroelektronika 28, 415 (1999).