Author:
Shandrikov M. V.,Cherkasov A. A.,Oks E. M.
Reference7 articles.
1. J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, 666 (1974).
2. Yu. V. Nikulin, A. S. Dzhumaliev and Yu. A. Filimonov, Tech. Phys. 61, 779 (2016).
3. T. Li, J. Han, Y. Xing, X. Deng, J. Li, L. Zhang, F. Shi, L. Yu, C. Sun, X. Zhang, and B. Zhang, Micro Nano Lett. 14, 146 (2018).
4. J. C. Helmer and C. E. Wickersham, J. Vac. Sci. Technol., A 4, 408 (1986).
5. J. J. Cuomo, H. R. Kaufman, and S. M. Rossnagel, US Patent No. 4588490 (May 13, 1986).