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On the possibility of electron-beam processing of dielectrics using a forevacuum plasma electron source

  • Published:2009-06 Issue:6 Volume:35 Page:511-513
  • ISSN:1063-7850
  • Container-title:Technical Physics Letters
  • language:en
  • Short-container-title:Tech. Phys. Lett.

Author:

Burdovitsin V. A.,Klimov A. S.,Oks E. M.

Publisher

Pleiades Publishing Ltd

Subject

Physics and Astronomy (miscellaneous)

Reference6 articles.

1. E. M. Oks, Plasma Cathode Electron Sources: Physics, Technology, Applications (Wiley-VCH, 2006).

2. Yu. A. Burachevsky, V. A. Burdovitsin, A. S. Klimov, E. M. Oks, and M. V. Fedorov, Zh. Tekh. Fiz. 76(10), 62 (2006) [Tech. Phys. 51, 1316 (2006)].

3. I. S. Zhirkov, V. A. Burdovitsin, and E. M. Oks, Zh. Tekh. Fiz. 77(9), 115 (2007) [Tech. Phys. 512, 1217 (2007)].

4. I. S. Zhirkov, V. A. Burdovitsin, E. M. Oks, and I. V. Osipov, Zh. Tekh. Fiz. 76(6), 106 (2006) [Tech. Phys. 51, 786 (2006)].

5. V. A. Burdovitsin, Yu. A. Burachevskii, E. M. Oks, and M. V. Fedorov, Prib. Tekh. Eksp., No. 2, 127 (2003) [Instr. Exp. Techn. 46, 257 (2003)].
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