Vergleichende Untersuchung optischer Oberflächenmessgeräte mit einem Chirp-Kalibriernormal

Abstract

Zusammenfassung In diesem Beitrag werden Eigenschaften von optischen Topografiemessgeräten an Hand eines „Chirp“-Kalibriernormals untersucht. Mit Hilfe des Normals soll es ermöglicht werden, das Übertragungsverhalten von Oberflächenmessgeräten zu ermitteln. Im konkreten Fall werden dazu ein Weißlichtinterferenzmikroskop und ein konfokales Mikroskop gegenübergestellt. Es werden Unterschiede in den Messergebnissen aufgezeigt, welche zur Charakterisierung von optischen Oberflächenmessgeräten bzgl. ihrer Eignung zur Messung technischer Oberflächen dienen können.