Piezoresistive Chemosensoren auf der Basis von Hydrogelen (Piezoresistive Chemical Sensors Based on Hydrogels)

Abstract

Abstract Hydrogele zeigen in Abhängigkeit von der sie umgebenden Flüssigkeit ein starkes Quellungsvermögen. Dies kann für die Schaffung chemischer Sensoren, z.B. für die Messung des pH-Wertes, ausgenutzt werden. Dafür lassen sich piezoresistive Sensoren nutzen, wobei das quellende Hydrogel zu einer Verformung der Silizium-Biegeplatte des Sensorchips führt. Es wurden die Ausgangsspannung in Abhängigkeit vom pH-Wert untersucht und die für eine hohe Signalreproduzierbarkeit erforderlichen Messbedingungen ermittelt.