Neuartiger Mode-Locking-External-Cavity-Laserdiodensensor zur absoluten Positionsmessung von rauen Oberflächen (Novel Mode-Locking External Cavity Laser Diode Sensor for the Absolute Position Measurements of Rough Surfaces)

Abstract

Abstract Konventionelle optische Sensoren nutzen Messeffekte außerhalb der Lichtquelle. Bei dem vorgestellten Lasersensor wird demgegenüber das Messobjekt in einen Fabry–Perot-Laserresonator integriert. Dabei ist die technische Oberfläche des Messobjektes als externer Reflektor des Resonators aufzufassen. Die gesuchte Abstandsinformation wird damit der Laseremission direkt aufgeprägt und steht über die Messung des longitudinalen Modenabstands zur Verfügung. Der realisierte Mode-Locking-External-Cavity-Laserdiodensensor erlaubt axiale, absolute Positionsmessungen mit Mikrometerauflösung und weist als Vorteil eine hohe Messdatenrate auf. Die Anwendungen liegen beispielsweise in der Qualitätskontrolle bei der Lasermaterialbearbeitung und von Schleifprozessen.