Maschinenintegrierte Ultrapräzisionsmessung optischer Funktionsflächen (Machine-integrated Ultra Precision Measurement of Functional Optical Surfaces)

Abstract

Abstract Die Qualitätsprüfung von optischen Bauteilen, Werkzeugformen für Spritzguss- oder Blankpressprozesse oder mikrostrukturierten Oberflächen wird derzeit meist in Stichproben unter Laborbedingungen fernab des Produktionsprozesses durchgeführt. Eine Nacharbeit oder örtlich begrenzte Korrekturen zur Optimierung der Produkte gestalten sich schwierig, weil das Bauteil erneut der Bearbeitung zugeführt werden muss. Dabei ist die genaue Rekonstruktion von Ort und Lage der messtechnisch bestimmten Abweichungen mit den geforderten Genauigkeiten in der Maschine meistens nicht möglich. Daher werden am Fraunhofer IPT ultrapräzise Messverfahren direkt in die Bearbeitungsmaschine integriert.