Selbstnachführendes Laserinterferometer für die Koordinatenmesstechnik (Tracking Laser Interferometer for Coordinate Metrology)

Abstract

Abstract Die Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten (KMG) kann durch die Integration eines selbstnachführenden Laserinterferometers deutlich verbessert werden. Das in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) entwickelte Verfahren verknüpft die Koordinaten jedes gemessenen Punktes des KMG mit einer hochgenauen interferometrischen Längeninformation. Die zentrale Komponente hierbei ist das ebenfalls in der PTB entwickelte selbstnachführende Laserinterferometer. Sein konstruktiver Aufbau ermöglicht hochgenaue Abstandsmessungen im Raum. Ergebnisse aus Simulationen und Messungen verifizieren das neue Verfahren.