Verfahren zur Messung kleiner Kapazitäten mit hoher Auflösung (Methodes to Measure Small Capacitances with High Resolution)

Abstract

Bei der Messung kleiner Kapazitäten muss häufig der Fehlereinfluss parasitärer Kapazitäten des Messobjektes unterdrückt werden. Auf verschiedenen Messprinzipien beruhende Schaltungen, mit denen diese Aufgabe gelöst wird, werden diskutiert. Sie unterscheiden sich in Messzeiten, Schaltungsaufwand und relevanten Fehlerursachen. Erreichte Messfehler und Messzeiten werden angegeben. An einem einfachen und aus EMV-Sicht sehr sicheren Verfahren wird über eine Fehlerdiskussion die schaltungstechnische Vereinfachung dieser Schaltung bei gleichzeitiger Verringerung des Fehlers aufgezeigt.