Interferometrische Kalibrierverfahren für die Schrittweitensteuerung eines Phasenverschiebeinterferometers (Interferometric Calibration Procedures of the Step-Width Control of a Phase-Stepping Interferometer)

Abstract

Abstract Es wird ein Interferometer mit Phasenverschiebungseinrichtung zur dimensionellen Messung von quaderförmigen Körpern beschrieben. Der verwendete spezielle Fizeau-Algorithmus erfordert eine Schrittweite von exakt ¼ Interferenzordnung, die durch Piezostellelemente mit integriertem kapazitiven Wegaufnehmer erzielt wird. Es wurden zwei interferometrische Kalibrierverfahren für die kapazitiven Wegaufnehmer entwickelt, die die verbleibenden Schrittweitenfehler deutlich unter 1 nm drücken.