Anforderungen an die zukünftige Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Vorgehensweisen (Future Requirements on Micro- and Nanomeasurement Technique – Challenges and Approaches)

Abstract

Abstract Mikro- und Nanosystemtechnik ist dabei, gewaltig an Bedeutung für die Industrie zu gewinnen. In einer großen Vielzahl von Anwendungen, z.B. Kommunikationstechnologie, Automobilindustrie oder Medizin, wird über eine konstante Zunahme neuer Anwendungen und sogar einsatzfähiger Produkte berichtet. Definierte Oberflächenstrukturen können nur durch neue Produktionsprozesse, die eine ultrapräzise Bearbeitung der Materialien erlauben, realisiert werden. Gleichwohl sind Produktionsprozesse nur dann für die Großserienfertigung geeignet, wenn brauchbare Messgeräte existieren, die es den Herstellern ermöglichen, diese Prozesse zu steuern. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über die Messverfahren, die fähig sind, sich diesen Herausforderungen zu stellen.