Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik (Dimensional Metrology for Components of Microsystem Technology)-Reference-Cited by-同舟云学术

Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik (Dimensional Metrology for Components of Microsystem Technology)

Published:2002-12 Issue:12 Volume:69 Page:542
ISSN:2196-7113
Container-title:teme
language:en
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Author:

Brand Uwe,Büttgenbach Stephanus

Abstract

Da der industrielle Einsatz mikrotechnischer Produkte immer mehr zunimmt, kommt es zu einem erhöhten Bedarf an dimensioneller Messtechnik. Der vorliegende Beitrag beschreibt eine neue 3D-Mikromesseinrichtung und die zur Verfügung stehenden bzw. in Entwicklung befindlichen Mikrotastsysteme und ihre Eigenschaften und Verwendungsmöglichkeiten. Die zur Charakterisierung dieser Tastsysteme verwendete Mikrokraftmesstechnik wird ebenfalls beschrieben.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2002.69.12.542/pdf

Reference11 articles.

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