Dimensionelle Metrologie an mikrostrukturierten Längenmaßverkörperungen – Beiträge der PTB (Dimensional Metrology on Microstructured Material Measures of Length – Contributions of the PTB)

Abstract

Die Anforderungen an die dimensionelle Messtechnik mikrostrukturierter, ebener Maßverkörperungen wie Strichmaßstäbe und Lithografiemasken oder auch inkrementeller Längenmessgeräte steigen stetig. Dies gilt sowohl hinsichtlich der zu erzielenden Messunsicherheiten für die verkörperten Gesamtlängen als auch für die relativen Lageabweichungen innerhalb der aufgebrachten Teilungsstrukturen. Es wird über die aktuellen Aktivitäten der PTB in diesem wichtigen Bereich der Mikro- und Nanometrologie zusammenfassend berichtet.